洁净室历经演变,以通风方式不同而分为两种主要类型。这就是紊流洁净室和单向流洁净室。紊流洁净室也称为“非单向流洁净室”,而单向流洁净室以前则称为“层流”洁净室。单向流型的洁净室其送风量比紊流型大得多,从而可实现更高的洁净度。
紊流洁净室的换气次数一般是大于等于20次/小时,这比象办公室这样的一般房间的换气次数大得多。在这种类型的洁净室中,由人员和设备产生的污染混合于送风之中,污染先被稀释,然后再予以清除。
1、自净时间:是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟)
(可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟)
(可取30min计算)
2、换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时
(规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)